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北京科創鼎新真空技術有限公司

河北不銹鋼真空腔體加工公司點擊了解更多「科創真空」

2021-06-21

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視頻作者:北京科創鼎新真空技術有限公司






真空腔體加工的注意事項

真空腔體是保持內部為真空狀態的容器,真空腔體加工要考慮容積、材質和形狀。

超高真空系統主要采用不銹鋼材質。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有優良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、能夠在-270~900℃工作等優點,在高真空和超高真空系統中,應用較廣。

為了減小腔體內壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體,更多的是利用電解拋光來進行表面處理。





真空腔體加工檢漏的辦法


一、真空封泥檢測法

用真空泥封住的漏點,此時要注意觀察真空度的改變,假如貼上真空泥之后真空度上升較快,拿掉之后又有了顯著的下降,這說明就是一個漏點哦。然而,這個辦法在實際檢測頂用的比較少

二、真空計檢漏法

部分真空計的讀數與氣體種類有關,例如電離真空計,熱偶計。用合適的氣體或許液體做示漏物質,這些真空計就成了探測器,一般鍍膜機上都會有真空計,在實際使用中也是比較常用的檢漏辦法。熱偶計的示漏物質有二氧化碳,丁烷,酒精等,熱偶計的反響比較慢,要仔細觀察。在油泵的效果下,使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下,油霧與上升的氣流相互效果吸附,混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。用于電離計的示漏物質主要有氦,,酒精等。







真空腔體制造技術

基板指的是一個大的法蘭適配器,可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵?;逋ǔS幸粋€位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統。

脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結構,一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設備。

輔助井用于連接抽氣系統和鐘形罩。

基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個真空密封件,可以同時實現基板和密封設備兩個部件的功能。

鐘形罩由圓柱形的主體和一個半球形或球形的端口組成??蛇x材料包括玻璃、金屬和塑料。標準鐘形罩的直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。




提供專用設備腔的定制服務,腔體的外形和開口可以根據用戶要求進行設計。

表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎上進行自定義設計。

手套箱和焊接箱專用于熔煉或焊接鈦、鋅等對易在大氣中氧化的材料。

真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件,它可以提供額外的高度和更多的自由端口。

裝載鎖定室是建在主腔體上的小腔體,可在不破壞主腔體真空度的條件下,將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環境移動到內部高真空環境中。

真空腔體可以按照真空度進行分類,包括粗或低真空度(< 760, > 1 torr),中真空度(< 1, >10-3 torr),高真空度(< 10-3, >10-8 torr),超高真空度(< 10-8 torr),以及非真空的高壓力 (> 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規尺寸是非常重要的參數。標準鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。從曲線上可以看出真空度高于10-2Pa時其耐壓強度基本上堅持不變。

真空腔體或者真空組件的可選項包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導口,加熱器和冷卻方式等。

Ferrotec在真空中制造中的解決方案

使用磁流體密封件作為在旋轉過程中真空解決方案。磁流體密封件可以隔絕大氣和污染物。

制備的石英用來制造視口及配件等組件,石英在許多其他加工工藝中也有使用。

真空鍍膜可選Ferrotec的PVD電子束蒸發系統。

如需了解更多真空環境下的制造信息,請參考真空工業界的資料。

復雜的真空腔體通常需要定制,即針對應用終端進行專門的設計和制作。某些常見的真空腔體已經過預先設計,如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。為了生產出匹配客戶需求的產品,需要告知我公司以下幾個問題點:1、產品在使用過程中是否有溫度產生,高溫和低溫分別是多少攝氏度,是否需要通水或液氮冷卻等內外在因素。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環境,可用于焊接,或用于塑料制品、復合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。





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